喷金仪 JN S200

设备概述

JN系列喷金仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。JN系列喷金仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的溅射电源采用恒流控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。

产品特点

◇ 设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜

◇ 可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间

◇ 采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单

◇ 低电压，稳定真空环境，可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等

◇ 溅射颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控溅射技术，利用平面磁场减少温度的变化，适用于温度敏感样品

◇ 配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全

◇ 长期运行，稳定可靠，无需特殊维护

◇ 具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差

◇ 仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作

◇ 软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能

技术参数

设备型号	JN S200
溅射类型	低压磁控平面溅射
靶材尺寸	直径50mm，最优靶材利用率
控制模式	5寸触摸屏全自动程序控制
真空系统	机械旋叶泵，极限真空＜1Pa真空抽速1L/s
真空测量	全量程皮拉尼数字真空计
工作真空	2-8Pa，真空精度可达0.1Pa
样品台	可升降，可放置12个标准钉型台，直径可达65mm
溅射电源	恒流磁控DC溅射电源300-600V，Max50mA控制精度可达1mA
溅射时间	≤600s，控制精度1s
真空腔室	φ130×100mm
供电要求	200-240VAC 50Hz，功率500W
外形尺寸	420×260×280mm

配置清单

序号	名称	规格	数量
1.	喷金仪主机	JN S200	1台
2.	铂金靶材	50×0.1mm	1个
3.	真空管路	KF16-1.2m	1根
4.	机械真空泵	VRD-4	1台
5.	合格证、保修卡、说明书、装箱单	/	1套